名称

内容

测量

范围

Z轴（垂直）

160μm

X轴（水平）

17.5mm（0.69inch）

分辨率

Z轴

（垂直）

0.002μm/±20μm

0.004μm/±40μm

0.008μm/±80μm

测量

项目

参数

Ra、Rz==Ry(JIS)、Rq、Rt==Rmax、Rp、Rv、R3z、R3y、   Rz(JIS)、Rs、Rsk、Rku、Rsm、Rmr、RPc、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2

标准

ISO4287国际标准；ANSI B46.1美国标准；

DIN4768德国标准；JIS B601日本标准

图形

支承率曲线，粗糙度，原始轮廓，滤波波形

滤波器

RC,PC-RC,Gauss,D-P

取样长度(lr)

0.25,0.8,2.5mm

评定长度（ln）

Ln= lr×n    n=1~5

传感器    

测量原理

位移式差动电感

触针

金刚石，90锥角，2μm/5μm针尖半径

测力

<4mN

导头

硬质合金，滑行方向半径40mm

滑行速度

lr=0.25,   Vt=0.135mm/s

lr=0.8,    Vt=0. 5mm/s

lr=2. 5,    Vt=1mm/s

返回      Vt=1mm/s

示值误差

不大于±10%

示值变动性

不大于6%

电源

内置锂离子充电电池，用DC5V,800mA充电器充电

外形尺寸

143×58×40mm

重量（主机）

约340g

工作环境

温度：- 20℃~40℃    湿度：<90% RH

储存运输环境

温度：- 40℃~60℃    湿度：<90% RH